减速机
摆线减速机  蜗轮减速机
企业入驻
我的商城
0去购物车结算

联轴器  支架  轴承

x
联轴器
·WGT接中间套鼓形齿联轴器(JB/T7·CL型齿式联轴器(JB/ZQ4218-·LX型弹性柱销联轴器(GB/T5014·LXZ带制动轮弹性柱销联轴器(GB/T·LT型弹性套柱销联轴器(GB/T432·LTZ型制动轮弹性套柱销联轴器(GB/·LZ弹性柱销齿式联轴器(GB/T501·LZJ接中间轴弹性柱销齿式联轴器(GB·LZZ带制动轮弹性柱销齿式联轴器(GB·LZD锥形轴孔弹性柱销齿式联轴器(50·CLZ型齿式联轴器(JB/ZQ4218·UL轮胎是联轴器(GB/T5844-2·LLA型轮胎式联轴器(JB/T1054·LLB型轮胎式联轴器(JB/T1054·LM梅花形弹性联轴器(GB/T5272·LMZ带制动轮梅花弹性联轴器(GB/T·LMD.LMS法兰式梅花弹性联轴器(G·LN芯型联轴器(GB/T10614-2·WH型滑块联轴器(JB/ZQ4384-·JQ型夹壳联轴器(HG5-213-65·GL滚子链联轴器(GB/T6069-2·GY型凸缘联轴器(GB/T5843-2·YL型凸缘联轴器(JB/ZQ4376-·TGL型鼓形齿联轴器(JB/T5514·NL型尼龙内齿圈挠性联轴器(DB320·GⅠCL型鼓形齿联轴器(JB/T885·GⅠCLZ型鼓形齿联轴器(JB/T88·GⅡCL型鼓形齿联轴器(JB/T885·GⅡCLZ型鼓形齿联轴器(JB/T88·GCLD型鼓形齿联轴器(JB/T885·NGCL型带制动轮鼓形齿式联轴器(JB·NGCLZ型带制动轮鼓形齿式联轴器(J·WG型鼓形齿式联轴器(JB/ZQ418·WGP带制动盘鼓形齿式联轴器(JB/T·WGC型垂直安装鼓形齿式联轴器(JB/·WGZ型带制动轮鼓形齿式联轴器(JB/·LX型星形弹性联轴器(JB/T1046·LXZ型星形弹性联轴器(JB/T104·LXP型星形弹性联轴器(JB/T104·JMⅠ型膜片联轴器(JB/T9147-·JMⅡ型膜片联轴器(JB/T9147-·JMⅠJ型膜片联轴器(JB/T9147·JMⅡJ型膜片联轴器(JB/T9147·SL十字滑块联轴器·LF弹性活销联轴器
支架
·WJ LWJ型无支点机架(CD130B·DJ LDJ型单支点机架(CD130B·SJ LSJ型双支点支架(D130B8·XD型单支点支架(HG21566-95·XS型双支点支架(HG21567-95·JA型无支点支架(HG5-743-78·JB型单支点机架(HG5-743-78·TA型反应釜无支点支架(HG5-251·TB型反应釜单支点支架(HG5-251·JXLD型X系列通用支架(74年标准)·JXLD型X系列通用支架(95年标准)·JBLD型B系列通用支架(74年标准)·JBLD型B系列通用支架(95年标准)·XLDJ型X系列增高支架(95年标准)·DXJ型单支点支架(2000标准)·FZ型方座双支点支架(95标准)·XLDJ型通用支架(X8000系列标准
轴承
·滚针轴承·轴承配件·深沟球轴承·推力球轴承·调心球轴承·角接触球轴承·短圆柱滚子轴承·轧机四列短圆柱滚子轴承·调心滚子轴承·圆锥滚子轴承·英制圆锥滚子轴承·外球面及带座外球面球轴承·关节轴承·推力滚子轴承·双半内外圈角接触球轴承
目前位置:  技术知识 > 行星齿轮减速机知识热点 > 基于LIGA技术的微行星齿轮减速器的设计和制造
技术知识:
基于LIGA技术的微行星齿轮减速器的设计和制造
时间:2018/3/24 14:26:00
    摘要:使用同步辐射光和X 射线掩模板的L IGA 技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮X 射线掩模板的CAD 技术、X 射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制,以及微行星齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为400Lm 的太阳轮、行星轮,厚度为200 Lm 的固定内齿轮、旋转内齿轮,其齿数分别为15、11、36、39。用这些微齿轮装配成了一台模数为0.03 mm、减速比为44. 2、最大外径为2 mm 的微行星齿轮减速器,并将其成功地应用在直径为2 mm 的电磁型微马达上。
关键词:3K- 2 型微行星齿轮减速器;微齿轮;L IGA;电磁型微马达

  微行星齿轮减速器可以降低微马达的转速,提高微马达的输出力矩,是微机电系统的重要组成部件。1994 年日本东芝技术研究所使用微细电火花技术(EDM ) 制造出了模数为0104 mm、减速比为44.2 的微行星齿轮减速器[ 1 ];1998 年,上海交通大学用EDM 技术研制出了模数为0.06mm、减速比为44.2 的微行星齿轮减速器[ 2 ]。使用同步辐射光和X 射线掩模板的L IGA 技术能够制造大深宽比的三维微结构,该结构侧壁陡峭,表面平整[ 3 ]。利用LIGA 技术的特点,我们又研制出模数为0.3 mm、最大外径为2 mm 的3K- 2 型微行星齿轮减速器。

1 微行星齿轮减速器的设计

  图1 是微行星齿轮减速器结构示意图,a、g、b、e 分别是太阳轮、行星轮、固定内齿轮、旋转内齿轮。太阳轮是输入轮,旋转内齿轮是输出轮。输入输出同轴。


图1 微行星齿轮减速器

  有3个理论中心距,分别是太阳轮和行星轮的理论中心距aag,固定内齿轮和行星轮之间的理论中心距abg,旋转内齿轮和行星轮之间的理论中心距aeg。3 个理论中心距彼此不同,为了保证啮合,在行星轮g 和别的齿轮之间必须有一个共同的实际中心距。显然,实际中心距的最大值amax 和最小值amin 之间。为保证微齿轮的加工性和啮合性,避免微齿轮干涉,我们设定微齿轮的变位系数是正值,旋转内齿轮的变位系数x e =0。因为旋转内齿轮的齿数最多,旋转内齿轮的变位系数取为0 可有效降低微减速器的尺寸。基于以上设定,我们在amax 和am in 之间插值,就可以得到实际中心距为[ 4 ]

a = amin + 0.76 (amax - amin)

  有了实际中心距,根据通常行星齿轮减速器的计算公式[ 5 ] ,就可计算出微齿轮的参数。表1 是模数为0.03 mm 的微行星齿轮减速器的计算参数。

表1 模数为0.03mm的微行星齿轮减速器的计算参数

2 X射线掩模板的CAD技术及加工

  在用L IGA 技术进行加工时,需要先制作出X 光掩模板图形,掩模板图形是通过矩形窗口在光刻胶上连续曝光而形成的。因此,用LIGA 技术制备微齿轮的第一步是要把齿轮进行矩形分割,且矩形窗口在0.1~ 150μm之间(视掩模板曝光机技术参数而定) ,分割要包容所有的区域,只允许重叠,不允许遗漏,否则,曝光不到的地方将不能显影成图形,齿轮的制作也只能以失败告终。基于以上考虑,将各个微齿轮图形分割成无数个长方形图形,并在坐标系中以五参数(M 、N 、Q、a、b)表示,其中M 、N 为长方形中心坐标,Q 为长方形一边与水平轴夹角,a、b 分别为长方形的边长。太阳轮、行星轮、固定内齿轮、旋转内齿轮分别被分割成1095、803、1548、1443 个曝光矩形窗口。这些矩形窗口转化成曝光机可识别的加工数据文件输出。图2 是太阳轮、外轮齿分割图,图3 是内齿轮、内轮齿分割图。


图2 太阳轮、外轮齿分割图

<IMG src="http://newmak

购物指南
收货发货
关于订单
关于价格
关于合同
关于发票
支付方式
售后服务
订购热线:
13552592001